IMEC制造全球最小SRAM芯片

近日，IMEC联合Unisantis公司制造了全球最小的SRAM芯片，面积缩小了24%，可适用于未来的5nm工艺。新工艺还能使用EUV光刻工艺，减少工艺步骤，从而使得设计成本与传统FinFET工艺相当。